ВЫСОКОЭФФЕКТИВНЫЙ ИСТОЧНИК НЕПРЕРЫВНОГО ДАЛЬНЕГО ВАКУУМНОГО УЛЬТРАФИОЛЕТОВОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ ОБРАБОТКИ ПОЛУПРОВОДНИКОВЫХ МАТЕРИАЛОВ
Институт автоматики и электрометрии СО РАН;
Читать статью полностью
Аннотация. Представлен новый дуговой источник мощного непрерывного дальнего вакуумного ультрафиолетового излучения, созданный на основе сильноточной плазмы пониженного давления, которая ранее использовалась в качестве актив- ной среды ионных аргоновых лазеров со сроком службы порядка 1000 ч.
Ключевые слова:
ВУФ-излучение, дуговой разряд, возбуждение ионных уровней.
