ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

4
Содержание
том 61 / АПРЕЛЬ, 2018
СТАТЬЯ
УДК 621.9.048.7

УМЕНЬШЕНИЕ ШЕРОХОВАТОСТИ ПОВЕРХНОСТИ СИТАЛЛОВОЙ ПОДЛОЖКИ ДО НАНОРАЗМЕРНЫХ ЗНАЧЕНИЙ

Бесогонов В. В.
Ижевский государственный технический университет, кафедра лазерных систем; доцент


Скворцова И. Н.
Институт прикладной механики Уральского отд. РАН; аспирант


Читать статью полностью 

Аннотация. Рассматривается возможность изменения шероховатости поверхности стандартной ситалловой подложки СТ-50-1 в результате воздействия на нее СО2- лазерного излучения. Приведены режимы обработки поверхности, при которых величина выступов не превышает 20 нм, и показано, что их величина может быть уменьшена до значений, позволяющих формировать на поверхности нано- структуры. Рассмотрен вопрос временной стабильности сформированной поверхности. Контроль топологии поверхности осуществлен на сканирующем зондовом микроскопе Solver P47 Pro.
Ключевые слова:

наноструктура, зондовая микроскопия, воздействие излучения на вещество, ситалл.