ПРИМЕНЕНИЕ НАНОИМПРИНТ-ЛИТОГРАФИИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАНО- И МИКРОЭЛЕМЕНТОВ ФОТОНИКИ
Университет ИТМО; научный сотрудник
Денисюк И. Ю.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор, зав. лабораторией
Читать статью полностью
Аннотация. Исследованы способы получения полимерных микрооптических элементов с помощью контактного копирования с использованием гибкого штампа. Экспе- риментально оценено влияние усадок ультрафиолетовой отверждаемой композиции на точность копии. На примере копирования дифракционной решетки 1800 лин/мм экспериментально подтверждена возможность копирования наноразмерных структур на существующем оборудовании.
Ключевые слова:
наноимпринт, контактная литография, наноструктуры, фотополимер, силоксан.
