ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 547.97:535.8; 541.147

ПРИМЕНЕНИЕ НАНОИМПРИНТ-ЛИТОГРАФИИ ДЛЯ ПОЛУЧЕНИЯ НАНО- И МИКРОЭЛЕМЕНТОВ ФОТОНИКИ

Арефьева Н. Н.
Университет ИТМО; научный сотрудник


Денисюк И. Ю.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; заведующий кафедрой


Читать статью полностью 

Аннотация. Исследованы способы получения полимерных микрооптических элементов с помощью контактного копирования с использованием гибкого штампа. Экспе- риментально оценено влияние усадок ультрафиолетовой отверждаемой композиции на точность копии. На примере копирования дифракционной решетки 1800 лин/мм экспериментально подтверждена возможность копирования наноразмерных структур на существующем оборудовании.
Ключевые слова:

наноимпринт, контактная литография, наноструктуры, фотополимер, силоксан.