КОНТРОЛЬ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТА ПО ПОЛОЖЕНИЮ ТОЧЕК ПЕРЕГИБА ДИФРАКЦИОННОЙ КАРТИНЫ ФРАУНГОФЕРА
Иванов Александр Николаевич;
Читать статью полностью
Аннотация. Предложен метод оценки размера контролируемого объекта по положению точек перегиба главного максимума дифракционной картины. Показано, что метод обладает высокой чувствительностью к изменению размера объекта и позволяет проводить измерения с погрешностью до 0,1 мкм.
Ключевые слова:
дифракция, точки перегиба, измерение геометрических па- раметров
