ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 531.7.082.5:535.42/44

КОНТРОЛЬ ГЕОМЕТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ОБЪЕКТА ПО ПОЛОЖЕНИЮ ТОЧЕК ПЕРЕГИБА ДИФРАКЦИОННОЙ КАРТИНЫ ФРАУНГОФЕРА

Иванов А. Н.
Иванов Александр Николаевич;


Читать статью полностью 

Аннотация. Предложен метод оценки размера контролируемого объекта по положению точек перегиба главного максимума дифракционной картины. Показано, что метод обладает высокой чувствительностью к изменению размера объекта и позволяет проводить измерения с погрешностью до 0,1 мкм.
Ключевые слова:

дифракция, точки перегиба, измерение геометрических па- раметров