НАНЕСЕНИЕ ЗАЩИТНОГО ПРОСВЕТЛЯЮЩЕГО ПОКРЫТИЯ НА ПОЛУПРОВОДНИКОВУЮ ГЕТЕРОСТРУКТУРУ УФ-ДИАПАЗОНА
Университет ИТМО; старший научный сотрудник кафедры квантовой электроники и биомедицинской оптики
Волынкин В. М.
АО «НПО ГОИ им. С.И. Вавилова», Санкт-Петербург, 192171, Российская Федерация; старший научный сотрудник
Ковалев Д. С.
ООО „Энергия УФ“, Всеволожск, Ленинградская обл.; младший научный сотрудник
Папченко Б. П.
Университет ИТМО; старший научный сотрудник
Читать статью полностью
Аннотация. Исследована возможность нанесения защитного просветляющего покрытия на полупроводниковую поверхность гетероструктуры УФ-диапазона. Показано, что специально приготовленный раствор на основе стандартной эпоксидной композиции ЭК-54 позволяет получать слои без существенного изменения объема (менее 1 %), а также снизить потери излучения, генерируемого полупроводниковой структурой, на 11 %.
Ключевые слова:
УФ-диапазон, полупроводниковая гетероструктура, просветляющее покрытие.
