ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ РЕЛЕ НА БАЗЕ МЭМС-ТЕХНОЛОГИИ
ОАО „СКТБ релейной техники“; инженер-конструктор
Конькин А. В.
ОАО „СКТБ релейной техники“; инженер-конструктор
Эннс П. Б.
ОАО „СКТБ релейной техники“; инженер-технолог
Капустин А. Н.
ОАО „Информационные спутниковые системы“ им. акад. М. Ф. Решетнёва; нач. отдела
Читать статью полностью
Аннотация. Рассматриваются принципы разработки слаботочных микрореле и микропере- ключателей для аппаратуры космического применения с использованием тех- нологии микроэлектромеханических систем.
Ключевые слова:
МЭМС-технология, микропереключатель, микрореле, опти- ческий преобразователь, микросистемная техника.
