ПОЛУЧЕНИЕ ТРЕХМЕРНЫХ ОПТИЧЕСКИХ МИКРОСТРУКТУР С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ ЛАЗЕРНОГО ГРАВЕРА
Университет ИТМО; аспирант
Денисюк И. Ю.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; профессор, зав. лабораторией
Читать статью полностью
Аннотация. Рассмотрены возможности формирования с использованием лазерного гравера микронных структур и оптических микроэлементов, таких как решетки микропризм. Показаны источники физических ограничений при формировании оптической поверхности, определены предельно малые размеры структур, которые можно получить с использованием данного метода записи.
Ключевые слова:
лазерная гравировка, микрооптика, решетки микропризм, абляция полимеров