ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 537.311.322

АВТОМАТИЗИРОВАННЫЙ БЫСТРОДЕЙСТВУЮЩИЙ ЛАЗЕРНЫЙ ИНТЕРФЕРОМЕТР ДЛЯ КОНТРОЛЯ ТОЛЩИНЫ ПРОЗРАЧНЫХ ПЛЕНОК

Гончар И. В.
Северо-Западный заочный технический университет, кафедра физики, Санкт-Петербург; аспирант


Иванов А. С.
Северо-Западный заочный технический университет, кафедра физики, Санкт-Петербург; доцент


Манухов В. В.
Северо-Западный заочный технический университет, кафедра физики, Санкт-Петербург; аспирант


Федорцов А. Б.
Северо-Западный заочный технический университет, кафедра физики, Санкт-Петербург; профессор


Читать статью полностью 

Аннотация. Изложены принципы интерферометрических измерений толщины прозрачных полупроводниковых и диэлектрических слоев. Приведено описание модернизированного интерферометра: его оптико-механический тракт, электронная схема и программное обеспечение. Представлены математическое обоснование принципов измерения и электрическая схема регистрации сигнала; описана программа обработки данных на ПК.
Ключевые слова:
тонкая пленка, интерферометр, лазер, оптическая схема, обработка сигнала