ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

8
Содержание
том 60 / АВГУСТ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 621.384

ФОРМИРОВАНИЕ РЕГУЛЯРНЫХ МИКРОРЕЛЬЕФОВ НА ПОВЕРХНОСТИ ТВЕРДЫХ ТЕЛ ОСТРОСФОКУСИРОВАННЫМ ПУЧКОМ ТЯЖЕЛЫХ ИОНОВ

Медунецкий В. М.
Университет ИТМО; доцент, докторант кафедры технологии приборостроения


Шмидберская А. А.
Тюменский государственный университет, кафедра микро- и нанотехнологий; магистр


Читать статью полностью 

Аннотация. Рассмотрен процесс формирования профиля канавки для обеспечения регулярного микрорельфа на поверхности твердых тел остросфокусированным пучком тяжелых ионов. Определены основные параметры технологического процесса, влияющие на геометрические характеристики профиля формируемой канавки.
Ключевые слова:
формирование регулярных микрорельефов, остросфокусированный пучок тяжелых ионов, профиль канавки, коэффициент ионного распыления