ДИФРАКЦИОННЫЕ МЕТОДЫ КОНТРОЛЯ ПРОСТРАНСТВЕННОГО ПОЛОЖЕНИЯ ОБЪЕКТОВ
Иванов Александр Николаевич;
Киреенков В. Е.
Университет ИТМО, кафедра компьютеризации и проектирования оптических приборов; аспирант
Носова М. Д.
Университет ИТМО, кафедра компьютеризации и проектирования оптических приборов; аспирант
Читать статью полностью
Аннотация. Рассмотрены дифракционные методы, позволяющие определить линейные и угловые перемещения объекта. Для измерения угловых перемещений используется способ наведения на точки инверсии фазы дифракционной картины, что позволяет увеличить чувствительность измерений до 0,05".
Ключевые слова: дифракция, фаза, измерение
