ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 544.032.65

ПОВЫШЕНИЕ РАЗРЕШАЮЩЕЙ СПОСОБНОСТИ ЛАЗЕРНОЙ ТЕРМОХИМИЧЕСКОЙ ЗАПИСИ НА ТОНКИХ ПЛЕНКАХ ХРОМА ПУТЕМ МНОГОКРАТНОГО ВОЗДЕЙСТВИЯ

Шахно Е. А.
Санкт-Петербургский государственный университет ин-формационных технологий, механики и оптики; профессор


Синев Д. А.
Университет ИТМО, кафедра лазерных технологий и экологического приборостроения; аспирант


Читать статью полностью 

Аннотация. Теоретически исследован способ увеличения разрешения планарных структур, записываемых с помощью технологии локального лазерного окисления тонких пленок хрома с последующим травлением путем многократного воздействия на область.
Ключевые слова: лазерное окисление, дифракционные структуры, металлическая пленка