Туркбоев Ашурбек
Место работы: Университет ИТМО
Должность: профессор кафедры ТТОЭ
Ученая степень: доктор технических наук
Должность: профессор кафедры ТТОЭ
Ученая степень: доктор технических наук
Новиков А. А., Храмцовский И. А., Иванов В. Ю., Федоров И. С., Туркбоев А. . ЭЛЛИПСОМЕТРИЯ НЕОДНОРОДНЫХ ПОВЕРХНОСТНЫХ СЛОЕВ АНИЗОТРОПНЫХ ОПТИЧЕСКИХ ЭЛЕМЕНТОВ
Статья опубликована в выпуске 1(52) за 2009
Статья опубликована в выпуске 1(52) за 2009