ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 535.317.2

ПРИМЕНЕНИЕ КОМПЬЮТЕРНОЙ ИЗОФОТОМЕТРИИ ПРИ КОНТРОЛЕ ОБЪЕКТИВА ДЛЯ НАНОЛИТОГРАФА

Кирилловский В. К.
Санкт-Петербургский государственный университет инфор-мационных технологий, механики и оптики; профессор


Гаврилов Е. В.
Университет ИТМО; аспирант


Жевлаков А. П.
Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация; ведущий инженер


Читать статью полностью 

Аннотация. Рассмотрены современные предпосылки развития микроэлектроники: углубление в вакуумно-ультрафиолетовый рабочий диапазон, создание и применение зеркальных объективов предельной точности, построенных по схеме Шварц- шильда, когда требования к точности измерения ошибок строже, чем λ/100 для λ =0,633 мкм. На стадии финишной доводки оптических поверхностей объекти- ва, в дополнение к дифракционной интерферометрии, необходима оценка каче- ства изображения, сформированного объективом, с использованием прямого метода изофотометрии структуры изображения точки, чем преодолевается не- достаток чувствительности интерференционного контроля.
Ключевые слова:

нанолитограф, зеркальный объектив, дифракционная интерферометрия, компьютерная изофотометрия.