Жевлаков Александр Павлович
Место работы: Университет ИТМО, Санкт-Петербург, 197101, Российская Федерация
Должность: ведущий инженер
Ученая степень: канд. физ.-мат. наук
E-mail: zhevlakov_43@mail.ru
Должность: ведущий инженер
Ученая степень: канд. физ.-мат. наук
E-mail: zhevlakov_43@mail.ru
Кирилловский В. К., Гаврилов Е. В., Жевлаков А. П. ПРИМЕНЕНИЕ КОМПЬЮТЕРНОЙ ИЗОФОТОМЕТРИИ
ПРИ КОНТРОЛЕ ОБЪЕКТИВА ДЛЯ НАНОЛИТОГРАФА
Статья опубликована в выпуске 1(54) за 2011
Статья опубликована в выпуске 1(54) за 2011
