ISSN 0021-3454 (печатная версия)
ISSN 2500-0381 (онлайн версия)
Меню

11
Содержание
том 60 / НОЯБРЬ, 2017
СТАТЬЯ
УДК 620.179.118.4

АНАЛИЗ ШЕРОХОВАТОСТИ ПРЕЦИЗИОННЫХ ОПТИЧЕСКИХ ПОВЕРХНОСТЕЙ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ МЕТОДА ИНТЕРФЕРЕНЦИОННОЙ МИКРОСКОПИИ

Азарова В. В.
Национальный исследовательский университет „Высшая школа экономики“, кафедра радиоэлектроники и телекоммуникаций; ОАО НИИ „Полюс“ им. М. Ф. Стельмаха, Москва; доцент; начальник лаборатории


Цветкова Т. В.
Национальный исследовательский университет „Высшая школа экономики“, кафедра радиоэлектроники и телекоммуникаций; ОАО НИИ „Полюс“ им. М. Ф. Стельмаха, Москва; аспирант; инженер по метрологии


Читать статью полностью 

Аннотация. Рассмотрены особенности применения метода некогерентной интерферометрии для оценки параметров шероховатости прецизионных оптических поверхностей. Приведены результаты измерений, полученные с помощью зондового профилометра и интерферометра белого света.
Ключевые слова:
прецизионные оптические поверхности, шероховатость, интерферометрия